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真空爐的（de）真空度測量

2021-03-24  瀏覽：2210次

　　真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用於測量真空度的儀器（qì）稱為真空計。  真（zhēn）空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空（kōng）計（jì）有：熱偶真空計（jì）電離真空計等。它（tā）們（men）的（de）工作原理如下：

　　（一（yī））熱偶（ǒu）真空計（jì）

　　熱偶真空計由敏感元件、熱偶規（guī）管和測量儀器（qì）組成。熱（rè）偶規管與被測（cè）真空係統相通，外殼為玻璃（lí）管，管內有加熱絲和熱偶（ǒu）絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由於溫（wēn）差效應，在回路中有（yǒu）熱電勢產生。如加（jiā）熱絲電壓保持（chí）恒定，則熱偶絲　　的電勢限決於加熱（rè）絲的溫度，而加熱絲的溫度與被（bèi）測（cè）氣體的壓強有（yǒu）關。壓強低（dī），氣體熱導率小，被（bèi）氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶（ǒu）絲的熱電（diàn）勢增大（dà）；反之，則熱電（diàn）勢減少。回路中的熱電（diàn）勢用毫伏表測量，表中的毫伏數即反映出真空

　　度的高（gāo）低。為了保證加熱絲的電壓穩定，而接入了（le）穩壓電源。所以測（cè）量儀器（qì）是由測量熱電勢（shì）的毫伏表（biǎo）和規管加熱絲穩壓電源兩部分組成。

　　（二）電離真空計

　　這種真空計主要用於測量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分（fèn）子被電離生成的正（zhèng）離子（zǐ）數與氣體壓強（qiáng）成正比（bǐ）按（àn）照離產生的方法不同，利用熱陰極發射電子使氣體電離的（de）真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管（guǎn）和測量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器（qì）、離子流測量（liàng）放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通。熱陰（yīn）極電（diàn）離規管是一個三（sān）極管（guǎn），管內有陰極、柵及和收（shōu）集極。收集極電位相對於陰極電負電位；柵（shān）極相對於陰極電正電位。當電離（lí）規管通電加熱後，陰（yīn）極發射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰（pèng）撞而產生正離子（zǐ）和電子（zǐ）的電離（lí）現象。當發射電流一定時，正（zhèng）離子數日與被測氣體壓強成（chéng）正比。正離子被收集極收集後，經測量電路放大，可（kě）由批示電表讀出所要測量的真空度。

　　（三）複合真（zhēn）空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用複合真（zhēn）空（kōng）計，應用較多的是電離與熱（rè）偶式複（fù）合真空計。它的測量範圍為（wéi）13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測（cè）量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真（zhēn）空。複合真空計附（fù）有一個熱（rè）偶規管、一個電離規管，分（fèn）別接在真空係統上，通過旋鈕可分別給兩個規管加熱，並選擇使（shǐ）用。


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